精密行星减速机拥有较多优点，像是结构紧凑，可节省50％的体积；同轴的输入输出使设计更具弹性；重量轻、高效率、免保养(无须更换润滑油)、寿命长(无需更换零组件)且经由模块化设计，使应用更为容易。
伺服用行星式齿轮减速机还具有高输入速度、高扭矩密度、高扭转刚性、低背隙、高效率、温升低、低噪音、安装容易等特性。
在实用上，所有的高性能伺服用齿轮减速机，均选用行星式的机构并非偶然。行星式的齿轮减速机构利用多齿接触来分散它的负荷，所以在给定的设计空间下具有最大的扭矩密度和刚性，而与一般的减速机构相比较，行星式齿轮减速机在高速时的结构动平衡特性较为优异，且易于润滑。一般而言，只要利用润滑油脂即可达到充分润滑的效果，基于上述之负荷均布、结构动平衡优异以及易于润滑的特性，使得行星式齿轮减速机被一般使用者认定为最适合使用的伺服应用方案.
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